參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日,，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

中析研究所始終以科學研究為首任，以客戶為中心,，在嚴格的程序下開展檢測工作,，為客戶提供產(chǎn)品檢測及質(zhì)量控制的解決方案，竭誠為廣大客戶提供正規(guī)科學的檢驗檢測,、研發(fā)分析服務(wù),。7-15個工作日出具掩膜版設(shè)備檢測報告，報告支持掃碼查詢真?zhèn)巍?/p>

檢測項目

分辨率檢測,、尺寸檢測、對準檢測,、位置檢測,、缺陷檢測、光學性能檢測,、電學性能檢測,、耐久性檢測、化學性能檢測,。

檢測范圍

掩膜刻蝕設(shè)備,、掩膜對準設(shè)備、掩膜曝光設(shè)備,、掩膜清洗設(shè)備,、掩膜檢測設(shè)備、掩膜修復設(shè)備,、掩膜貼合設(shè)備,、掩膜測量設(shè)備。

相關(guān)標準

GB/T 40577-2021集成電路制造設(shè)備術(shù)語

SJ/T 11516-2015薄膜晶體管(TFT)用掩模版規(guī)范

檢測儀器

光學顯微鏡,、掃描電子顯微鏡,、光學對準儀,、電子束對準儀、光學測量儀,、電阻計,、電容計、熱循環(huán)測試設(shè)備,、濕度測試設(shè)備,、化學溶液浸泡測試設(shè)備。

檢測方法

尺寸測量：使用光學測量儀,、掃描電子顯微鏡等設(shè)備對掩膜版的尺寸進行測量,，以確定其準確性和一致性。

對準檢測：使用光學對準儀,、電子束對準儀等設(shè)備對掩膜版的位置進行檢測和調(diào)整,，以確保其與其他組件的對準精度。

缺陷檢測：使用光學顯微鏡,、掃描電子顯微鏡等設(shè)備對掩膜版進行缺陷檢測,，如表面缺陷、裂紋,、污染等,。

光學性能檢測：使用光譜儀、光強測量儀等設(shè)備對掩膜版的光學性能進行檢測,，如透射率,、反射率等。

電學性能檢測：使用電阻計,、電容計等設(shè)備對掩膜版的電學性能進行檢測,，如電阻值、電容值等,。

耐久性檢測：使用熱循環(huán)測試設(shè)備,、濕度測試設(shè)備等對掩膜版進行耐久性測試，以評估其在不同環(huán)境條件下的穩(wěn)定性和壽命,。

化學性能檢測：使用化學溶液浸泡測試設(shè)備等對掩膜版進行化學性能測試,，以評估其對不同化學物質(zhì)的耐受性和穩(wěn)定性。

中析儀器 資質(zhì)